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              科技獎勵

              獲獎時間 獲獎名稱 獲獎類別 完成人(主要參加者)
              1991年 光電、模擬和I2L相容的傳感器集成技術研究 1991年中國科學院科技進步三等獎 海潮和 陳煥章 周小茵 朱曦 金才政
              1991年 相關中頻積累器(含90020109) 1991年中國航空航天工業部科學技術進步二等獎 陳寶欽
              1990年 PI-A型耐熱光敏樹脂及光刻工藝研究 1990年,院科技進步三等獎 韓階平 李佐邦 侯豪情 白宗武 徐衛東
              1990年 FD-2型RIE通用刻蝕機刻蝕機研制與超精細圖形刻蝕工藝研究 1990年中國科學院科技進步二等獎 高士平 徐維江 岳惠武 程秀玲 石西增
              1990年 CMOS門陣列設計工具的開發 1990年中國科學院科技進步二等獎 夏武穎 童云 盧勤
              1990年 1微米LSI中TiSi2TaSi2/N+多晶硅復合結構RIE腐蝕研究 1990年,院科技進步三等獎 徐秋霞 周鎖京 趙玉印 馮淑敏
              1989年 1990年 康發系列CAE工作站的開發及實用化 1989年中國科學院科技進步一等獎;1990年國家科委三等獎 聯合攻關項目,與中科院軟件中心合作,本單位獲獎人員夏武穎、曾學勤、許新華
              1989年 3微米LSI中試線的建設 1989年,院科技進步二等獎 王守武 劉茂章 周豐年 吳德馨 馬文杰 莫大康 周繼紅 王國民 張藏敬
              1989年 1-1.5微米成套工藝開發及相應水平大規模集成電路的研究 國家計委“七五”國家重點科技攻關專題優異成績表彰 微電子中心
              1988年 0.5微米粒子10個/英尺3裝配式潔凈室 國家計委國家科技成果獎 河北工學院、微電子中心
              1988年 半導體工藝和器件的模型參數優化提取和統計模擬(共包括三個軟件) 1988年中國科學院科技進步三等獎 夏武穎 鄭 穎 曾學勤 許新華 張力 周紅
              1986年 集成電路大生產試驗 國家計委科技攻關成績顯著表彰;1986年中國科學院“六五”科技攻關重要貢獻表彰 中國科學院109廠
              1985年 “七五七”工程千萬次計算機 1985年國家科學技術進步一等獎 何晉等
              1985年 大規模集成電路制造及測試設備 1985年機械工業部嘉獎 中國科學院109廠
              1982年 KHA-75型半自動接近接觸式光刻機 1982年第一機械工業部科技工作一等獎 中國科學院109廠
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