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              獲獎題目:
              獲獎編號:
              獲獎時間: 2017年
              獲獎名稱: 原子層沉積系統的開發與應用
              主要完成人: 夏洋、李超波、孫清清、陳波、萬軍、李楠
              完成單位: 中國科學院微電子研究所、嘉興科民電子設備技術有限公司、復旦大學
              成果介紹:
              獲獎類別: 2017年北京市科學技術獎三等獎,2017年中國電子學會科學技術獎技術發明類一等獎
              獲獎等級: 三等獎
              授獎部門: 北京市人民政府
              開始日期:
              結束日期:
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